廠務(wù)系統(tǒng)有哪些
a,內(nèi)裝修工程：（高架地板工程、潔凈室隔墻板系統(tǒng)、鋁合金龍骨吊頂/ceiling grid、無塵涂裝、環(huán)氧地坪等）、壓差控制系統(tǒng)、ESD防靜電等；
b,循環(huán)空調(diào)系統(tǒng)：（包括部分供熱與通風(fēng)系統(tǒng)，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高過濾器、化學(xué)過濾器etc.、送氣風(fēng)機、排氣風(fēng)機 etc.）；
c,FOUNDATION：防震機座、粉塵監(jiān)測智能系統(tǒng)/DMS系統(tǒng)、風(fēng)淋室、傳遞窗、層流罩、潔凈工作臺、潔凈洗手器、潔凈衣架、潔凈電梯、正壓潔凈樓梯間系統(tǒng)、化學(xué)品儲存冷庫和壓縮機etc.
Mechanical System [ 機械系統(tǒng) ]
中央動力，Central utility： Mechenical（熱水、冷凍水、軟水、工藝設(shè)備冷卻水PCW、生產(chǎn)上水、自來水﹑飲用水、一般蒸汽和潔凈蒸汽等管路供應(yīng)系統(tǒng)；鍋爐、冷凍機、冷卻塔、空壓機等廠務(wù)設(shè)施）
Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊氣體和大宗氣體 ]
a,Bulk Gas： GAS YARD氣站， CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然氣）【包括普通和超純/精制氣體】，壓縮空氣（CDA）--有些FAB還將機臺用CDA和廠務(wù)設(shè)備用CDA供應(yīng)系統(tǒng)分開，呼吸空氣供應(yīng)系統(tǒng)等；
b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭 )：
（1）易燃性氣體(Flammable Gas)
（2）毒性氣體（Toxic Gas）
（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）
（4）惰性氣體(Inert Gas)
（5）氧化性氣體（Oxide Gas）
（6）低壓/保溫氣體（Heat Gas)
Water Treatment System [ 水處理系統(tǒng) ]
a,超純水供應(yīng)系統(tǒng)、熱/溫純水供應(yīng)系統(tǒng)、一次純水（RO水）供應(yīng)系統(tǒng) etc.
b,工藝廢水處理（酸、堿、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、溫排水、純水回收、一般排水、TMAH顯影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）
c,辦公用給排水系統(tǒng)：飲用水供應(yīng)、自來水供應(yīng)、生活污水處理、雨水排放系統(tǒng)etc
Exhaust System[工藝排氣系統(tǒng)]
a,工廠SCRUBBER:酸、堿、有機VOC、粉塵、一般排氣etc.[有些FAB還包括了緊急排煙/事故排風(fēng)系統(tǒng)]
b,LOCAL SCRUBBER（一般附屬于工藝設(shè)備）：依其原理大概可分成下列幾類 (1)電熱水洗式; (2)燃燒水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。純水設(shè)備
Chemical Dispensing System[化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)]
包括化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)和化學(xué)品回收系統(tǒng)，具體使用的化學(xué)品種類根據(jù)每個FAB產(chǎn)品的不同而不同:
a,Chemical Dispensing System化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)
酸性
堿性
有機溶劑
氧化腐蝕性
b,化學(xué)品回收系統(tǒng)：光刻膠resist、STRIPPER剝離液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、異丙醇、硫酸廢液、硫酸銅廢液回收等
Vacuum System [ 真空系統(tǒng) ]
真空系統(tǒng)包括工藝真空(Process Vacuum )、真空吸塵(Hose Vacuum)或者清掃用真空、設(shè)備真空Pumping-line/vent系統(tǒng)/Pumping-Exhaust系統(tǒng)。
Power Supply & Automation System [ 電力供應(yīng)及自動化 ]
a,強電：高低壓供電（包括中央變電站和各終端變電站）、ups電源供應(yīng)系統(tǒng)（蓄電池組）、緊急柴油發(fā)電機系統(tǒng)、SSTS高速切換開關(guān)、VSS電容補償系統(tǒng)等、各類配電盤、照明（包括tear drop淚滴型照明燈具、黃光燈）、插座；
b,弱電：各類動力、EHS方面的自控部分（包括各類弱電盤面）、FMCS廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)（包括各sub-scada系統(tǒng)），【監(jiān)控方面還有氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS）、氣體偵測系統(tǒng)（GDS）、有的廠是GMS＋GDS＝FMCS、純水設(shè)備有的廠GMS和GDS會分開來的】、各類電氣接地、靜電防護系統(tǒng)etc.
Construction [ 建筑結(jié)構(gòu) ]
建筑結(jié)構(gòu)相關(guān)(包含廠房維修)，主要分為建筑和結(jié)構(gòu)兩大塊（有些FAB將EHS相關(guān)的防火門、逃生門、緊急疏散口、擋煙垂臂、升降平臺etc.也歸入此類）
EHS System Control [ 環(huán)境健康安全 ]
EHS涉及環(huán)境保護（污染物控制【三廢處理等】、有害物質(zhì)控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】）、健康（職業(yè)衛(wèi)生）、工業(yè)安全、能源、治安保衛(wèi)、ERC（ERT應(yīng)急響應(yīng)等）、風(fēng)險管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】，EHS其它等。
硬件涉及：消火栓設(shè)備、噴淋系統(tǒng)、漏液檢測系統(tǒng)、門禁系統(tǒng)、電話廣播系統(tǒng)、PHS系統(tǒng)、緊急對講機系統(tǒng)，感溫電纜報警系統(tǒng)、vesda、煙感熱感探頭、閉路電視系統(tǒng)/CCTV監(jiān)視攝像頭、消防與觀光電梯、地震監(jiān)控系統(tǒng)、SCBA呼吸面具、緊急沖淋、各類滅火器、PPE個人防護用具etc.
Energy Saving[廠務(wù)節(jié)能]
涵蓋所有廠務(wù)系統(tǒng)的節(jié)能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等，純水設(shè)備，實驗室純水設(shè)備，濟南水處理設(shè)備，濟南去離子水設(shè)備。 濟南純水設(shè)備，醫(yī)用GMP純化水設(shè)備。 半導(dǎo)體純水設(shè)備。
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